في غرف التصنيع، يتم تقليل سمك الرقاقات لكشف الأجزاء المطلوبة داخلها، ولا يمكن التفاوض بشأن درجة الحرارة المطلوبة. استقرار مادة الفوتوريزست، وضغوط الأكسيد، وانحناء الرقاقة… كل ذلك يعتمد على التحكم في درجة الحرارة. حتى اختلاف طفيف في درجة الحرارة قد يؤدي إلى مشاكل في الرقاقة، وقد يدمر كامل كمية الرقاقات المصنعة. لذلك، صممنا منصة التسخين بالأشعة تحت الحمراء للحفاظ على استقرار درجة الحرارة، دورة تلو الأخرى.
يعمل نظام التسخين بالأشعة تحت الحمراء عن طريق التواصل المباشر مع الأغشية الرقيقة والرقاقة نفسها. توزع مصفوفات الأشعة تحت الحمراء الطاقة في المكان المناسب، مما يضمن توحيد درجة الحرارة على مستوى الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية. تصل سرعة زيادة درجة الحرارة إلى أكثر من 10 درجات مئوية في الثانية، مما يسمح بإجراء عمليات التسخين بشكل فعال دون حدوث أي مشاكل.
تم تصميم النظام بحيث يتوافق مع معايير غرف التصنيع من الفئة 1 إلى 100: استخدام مواد قليلة الانبعاثات، ونوافذ من الكوارتز المغلقة، بالإضافة إلى تدفق هواء منظم، مما يحافظ على عدد الجسيمات في مستوى منخفض. يتم قياس عدد الجسيمات بدقة، وليس فقط التعهد بذلك، حيث يتم الحفاظ على عدد الجسيمات أقل من 0.3 جسيم/سم².
مع تقليل سمك الرقاقات، تذهب الحرارة إلى الرقاقة نفسها، وليس إلى الوعاء الذي توجد فيه الرقاقة. هذا يساعد في الحفاظ على خصائص مادة الفوتوريزست، ويقلل من الانحناءات على حواف الرقاقة، ويحافظ على الأبعاد الحرجة للرقاقة. كما يساعد ذلك في الحصول على نتائج أكثر دقة فيما يتعلق بسمك الرقاقة، ويقلل من كمية الرقاقات المهدرة، بالإضافة إلى ضمان أداء مستقر لعمليات التسخين من دفعة إلى أخرى.
يقل استهلاك الطاقة لأن الجهاز يتصل مباشرة بالأغشية الرقيقة، دون حدوث أي تسخين زائد. تعمل الوحدات على مدار 24 ساعة في اليوم، دون أي توقف غير مخطط له، وذلك بفضل متوسط العمر التشغيلي الذي يتجاوز 10,000 ساعة.
التركيب بسيط، لكن الدمج مع الأنظمة الأخرى ضروري. يحتاج النظام إلى خط تحكم بجهد 24 فولت، وهواء نظيف وجاف بضغط 0.4 ميجا باسكال، بالإضافة إلى غرفة معالجة مزودة بنوافذ من الكوارتز تتناسب مع الجهاز المستخدم. يستغرق عملية الدمج حوالي يومين، بما في ذلك معايرة جداول الانبعاث الحراري لكل نوع من الأغشية.
يجب أخذ الظروف الحرارية في الاعتبار في المناطق المحيطة بالرقاقة. نوفر بروتوكولات لتحديد الحدود الآمنة للتعامل مع هذه الظروف.