In der Fertigungshallen verursacht eine Temperaturänderung von 2°C während des Trocknungsprozesses des Photoresists nicht nur Abweichungen in der CD-Wertigkeit der Wafer. Zudem werden stundenlange Lithografieprozesse verschwendet – Wafer, die eigentlich als Rohmaterial weiterverarbeitet werden könnten, müssen als Schrott entsorgt werden. Ineffektive Heizgeräte machen es schwierig, den optimalen thermischen Zustand zu erreichen – jede erneute Qualifizierung führt dazu, dass die Produktionszeit zunimmt.
Wir haben dieses Heizgerät für die Charakterisierung von Halbleiterkomponenten so konstruiert, dass eine wiederholbare Temperaturregulierung sowie eine kompatibele Bauweise mit Reinräumen gewährleistet sind. Die Einheitlichkeit der Temperaturen auf der Waferoberfläche wird auf ±0,1°C innerhalb der aktiven Zone gehalten – dadurch entstehen minimale Abweichungen zwischen den verschiedenen Bereichen der Waferoberfläche.
Das Heizgerät nutzt Kurzwellen-Infrarotelemente, um eine schnelle und effiziente Temperaturregulierung zu ermöglichen. Änderungen der Zieltemperatur erfolgen schnell, ohne Übersteigungen. Es kann in Umgebungen der Klasse 1–100 eingesetzt werden, ohne dass es zu Partikelbildung kommt. Die Materialien in der Heizzone wurden so ausgewählt, dass eine minimale Ausgasung sowie Kontamination durch Metalle vermieden werden. Sie können sich auf eine zuverlässige Funktion rund um die Uhr verlassen – ohne unplanmäßige Stillstände aufgrund von Temperaturabweichungen.
Dieses Gerät ist so konzipiert, dass es in Charakterisierungsstationen sowie Prozesswerkzeugen eingesetzt werden kann – dort, wo die thermische Reproduzierbarkeit entscheidend für die Qualität der Produkte ist. Eine hohe Einheitlichkeit der Temperaturen reduziert die Anzahl der notwendigen Qualifizierungsprozesse, während stabile Temperaturprofile die Produktionszeit verkürzen, indem sie Nacharbeiten und erneute Messungen reduzieren.
Durch effiziente Infrarotkoppelung sowie geringe Leerlaufverluste wird der Energieverbrauch verringert. Zudem verkürzt die lange Lebensdauer des Geräts den Bedarf an Ersatzteilen. Das Design entspricht internationalen Normen für Halbleiterausrüstung – es handelt sich somit um eine zuverlässige Alternative zu importierten Heizgeräten, sodass Sie diese ohne Umbauten einsetzen können.
Die Installation ist einfach – doch das Heizgerät benötigt eine stabile, gefilterte Stromversorgung sowie eine ordnungsgemäße Verbindung zum Prozesswerkzeug. Es ist außerdem notwendig, das Gerät schnell auf die richtige Position zu bringen, damit es optimal funktioniert.
Die maximale Leistungsdichte des Heizgeräts wurde entsprechend den Anforderungen der Charakterisierungsprozesse ausgewählt. Bei Werkzeugen mit hoher Durchsatzrate sollte die thermische Belastung im Vorfeld mit dem Integrationsteam abgestimmt werden.
Die einzige echte Einschränkung besteht darin, dass die Anschlussbuchsen sowie die Befestigungsmöglichkeiten des Geräts den vorhandenen Anforderungen des Prozesswerks entsprechen müssen. Sobald das Gerät richtig eingestellt ist, funktioniert es wie vorgesehen.