در سطح کارخانه، حاشیه خطا در پردازش فوتورزیست را در نانومتر اندازهگیری میکنید. چند درجه انحراف در حین پخت نرم یا پخت سخت کافی است تا ابعاد بحرانی جابهجا شوند و بازدهی را کاهش دهند. ما لامپهای پخت فوتورزیست مادون قرمز خود را طراحی کردیم تا این عدم قطعیت را از میان برداریم.
آنچه از لحاظ فنی اهمیت دارد
ما از تابشگرهای مادون قرمز کوتاهموج (NIR) استفاده میکنیم تا انرژی را مستقیماً به لایه فوتورزیست منتقل کنیم، بنابراین تأخیر حرارتی در حداقل باقی میماند. در طول پروفایل پخت کامل، یکنواختی در سطح ویفر در ±0.1°C به دست میآید. کنترل حلقه بسته این دقت را حتی زمانی که ولتاژ خط نوسان دارد یا دما محیطی تغییر میکند، ثابت نگه میدارد.
تولید صفر ذره در اتاقهای تمیز کلاس 1–100 یک الزام است و این لامپها این مورد را تأمین میکنند. ثبات خروجی برای بیش از 5,000 ساعت عملیاتی حفظ میشود.
چرا در لیتوگرافی مؤثر است
پخت نرم تماماً به کاهش حلالها به سطح باقیمانده مناسب مربوط میشود و پخت سخت الگو را قفل میکند. این مراحل حرارتی را با تکرارپذیری انجام دهید و کنترل واقعی فرآیند را به دست میآورید.
شما کنترل دقیقتری بر عرض خط، نقصهای کمتری و زمانهای چرخهای قابل اعتماد خواهید دید. افزایش و کاهش سریع دما همچنین مصرف انرژی را نسبت به صفحههای گرمکن متداول کاهش میدهد، بنابراین هزینههای عملیاتی بدون کاهش توان تولید کاهش مییابد.
آنچه باید از قبل بدانید
این لامپها بهراحتی در خطوط و پوششدهندههای موجود نصب میشوند، اما به یک منبع تغذیه پاک و اختصاصی نیاز دارند تا ثبات طیفی در سطح مناسب حفظ شود.
فاصله تابشگر تا ویفر باید بهدقت تنظیم شود—هر انحرافی میتواند بودجه حرارتی و یکنواختی شما را مختل کند. یک بازه کوتاه برای راهاندازی انتظار داشته باشید تا پروفایل را برای شیمی فوتورزیست خاص خود تنظیم کنید. پس از تنظیم، فرآیند قفل میشود.