در فرآیند لیتوگرافی، گرمایشکن PEB که حتی تغییر دمای ۰.۲ درجه سانتیگراد هم میتواند باعث اختلال در کیفیت سیدیها شود. ما این گرمایشکن را طوری طراحی کردهایم که این نوسانات را از بین ببرد؛ تا شیمی مواد استفاده شده در فرآیند لیتوگرافی، دقیقاً مطابق با استانداردهای مورد نظر عمل کند.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما به دنبال یکنواختی دمایی در سطح ویفر در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد هستیم؛ تا فرآیند گرمایش قابل تکرار باشد. عناصر مادون قرمز با طول موج کوتاه، باعث افزایش سرعت گرمایش و کاهش زمان پاسخگویی میشوند؛ در نتیجه، میزان انرژی مصرفی کاهش مییابد. منطقه گرمایشی طوری طراحی شده که هیچ ذرهای تولید نشود؛ بنابراین میتوان آن را در اتاقهای پاکسازی کلاس ۱-۱۰۰ استفاده کرد، بدون ایجاد خطر آلودگی. میزان توان، ولتاژ و ابعاد این دستگاه با استانداردهای دستگاههای مربوطه همخوانی دارد؛ همچنین، رابط ارتباطی آن به گونهای طراحی شده که بتوان آن را به راحتی در سیستمهای موجود ادغام کرد.
چرا این موضوع در تولید اهمیت دارد؟
در کارخانههای تولیدی با حجم بالا، پایداری دمای PEB تأثیر زیادی بر کیفیت محصولات دارد. با یکنواختی دمایی در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد، میتوان نوسانات در کیفیت محصولات را کاهش داد و فرآیند تولید را بهتر کند. مصرف انرژی نیز بهینه میشود؛ زیرا سیستم به سرعت به دمای مورد نظر میرسد و آن را حفظ میکند. این دستگاه برای کار ۲۴/۷ مناسب است؛ همچنین، زمان تعمیرات نیز طولانی و قابل پیشبینی است. به عبارت دیگر، شما میتوانید از زمان کار دستگاه بهره ببرید، نه از زمان توقف ناگهانی آن.
چه چیزهایی باید قبل از استفاده از این دستگاه بررسی شود؟
این دستگاه طوری طراحی شده که معادل استانداردهای بینالمللی تجهیزات نیمههادی باشد؛ اما سازگاری نهایی آن با سیستم شما، به رابط ارتباطی دستگاه شما بستگی دارد. قبل از نصب، باید محل نصب، انواع کانکتورها و سیستمهای محافظتی مربوط به دستگاه را بررسی کنید. همچنین، پس از نصب، باید یک بار دیگر پروفایل دمایی دستگاه را بررسی کنید؛ تا از پایداری دمایی دستگاه مطمئن شوید.