در فرآیند نازکسازی ویفر، لایههای روی آن برداشته میشوند؛ در این حالت، کنترل دما امری بسیار مهم است. سلامت فیلمهای حساس به نور، استرس ناشی از اکسیداسیون، و تغییرات شکل ویفر – همگی به کنترل دما بستگی دارند. حتی تغییر جزئی در دما میتواند باعث ایجاد استرس در فیلمها شده و منجر به از بین رفتن کل محموله ۳۰۰ میلیمتری شود. ما پلتفرم گرمایشی مادون قرمز خود را طوری طراحی کردهایم که دما را در هر چرخه، ثابت نگه دارد.
گرمایش مادون قرمز از طریق اتصال مستقیم به فیلمها و سطح پایه انجام میشود. آرایههای مادون قرمز کوتاهامواج ما، انرژی را در جای مناسب قرار میدهند؛ در نتیجه، یکنواختی دما در منطقه فعال، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد است. سرعت افزایش دما بیش از ۱۰ درجه سانتیگراد در ثانیه است؛ بنابراین میتوان فرآیندهای گرمایشی را بدون ایجاد اختلالات دمایی انجام داد.
سازگاری این سیستم با استانداردهای اتاقهای پاک، از همان ابتدا در طراحی آن لحاظ شده است: استفاده از موادی که گاز کمی تولید میکنند، استفاده از پنجرههای کوارتزی، و سیستمهای تأمین هوای تمیز، باعث میشود تعداد ذرات در هوا در حداقل مقدار باقی بماند. تعداد ذرات صفر است؛ این موضوع نه تنها ادعا شده، بلکه از طریق نظارت لحظهای، تعداد ذرات در حد کمتر از ۰.۳ ذره بر سانتیمتر مربع نگه داشته میشود.
در فرآیند نازکسازی ویفر، گرما به داخل ویفر منتقل میشود، نه به سطح پایه؛ این امر باعث حفظ ساختار فیلمهای حساس به نور، کاهش اختلافات در ابعاد ویفر، و حفظ ابعاد کلیدی آن میشود. در نتیجه، تکرارپذیری فرآیند بالاتر میشود، مقدار ضایعات کمتر میشود، و فرآیندهای گرمایشی در هر محموله، به طور قابل پیشبینی عمل میکنند.
مصرف انرژی کاهش مییابد؛ زیرا گرمایش مستقیماً از طریق فیلمها انجام میشود؛ بنابراین هیچ گرمایش اضافی ایجاد نمیشود. این ماژولها ۲۴ ساعته کار میکنند، بدون هیچ توقف غیرمنتظرهای؛ زمان عملکرد آنها بیش از ۱۰٬۰۰۰ ساعت است.
نصب این سیستم ساده است، اما یکپارچهسازی آن ضروری است. این سیستم به یک خط کنترل ۲۴ ولتی، هوای تمیز و خشک با فشار ۰.۴ مگاپاسکال، و یک محفظه فرآیندی با پنجرههای کوارتزی نیاز دارد. یکپارچهسازی این سیستم حدود دو روز طول میکشد؛ این زمان شامل تنظیم جداول انتشار گرما برای هر لایه فیلم نیز میشود.
باید به مسئله سایهگذاری حرارتی در نواحی حاشیهای توجه کرد؛ ما پروتکلهای لازم برای تعیین شرایط ایمن را فراهم میکنیم.