دیگر نیازی نیست منتظر چرخه شستشو باشید: IR در مقابل هوای داغ
اگر تجربه کار در کارخانههای تولید نیمههادی را داشته باشید، میدانید که مرحله شستشو معمولاً زمانی است که کارها کندتر پیش میروند. این یک مشکل معمول در این فرآیندهاست.
بسیاری از افراد هنوز از روش گرمایش با هوای داغ استفاده میکنند. مشکل اینجاست که این روش در واقع روش گرمایش تبادل حرارتی است؛ یعنی ابتدا هوا گرم میشود، سپس انتظار میکشیم تا اتاق گرم شود، و در نهایت ویفر گرم میشود. این فرآیند بسیار آهسته است؛ انگار که فقط در حال تلف کردن وقت هستیم.
اما روش گرمایش با امواج مادون قرمز چطور است؟
روش گرمایش با امواج مادون قرمز، زمان لازم برای گرم شدن ویفر را کاملاً کاهش میدهد. به جای گرم کردن کل اتاق، لامپهای مادون قرمز انرژی الکترومغناطیسی را مستقیماً روی سطح ویفر تابانده میکنند. در این روش، نیازی به گرم کردن میانی نیست.
بنابراین، ویفرها کمتر در حالت نیمهگرم باقی میمانند. این امر باعث میشود بتوانید در هر ساعت تعداد بیشتری ویفر را پردازش کنید، بدون اینکه نیاز به فضای بیشتری داشته باشید. این یک مزیت بزرگ برای فرآیند کاری شماست.
اما نمیتوانید یک لامپ معمولی را در محیط مرطوب استفاده کنید.
آب و سیستمهای الکترونیکی با هم سازگار نیستند؛ رطوبت یا آب اضافی میتواند باعث خرابی قطعات الکترونیکی یا ترک خوردن سنگ کوارتز شود. به همین دلیل از لامپهایی استفاده میشود که دارای مهرهای ضدآب و پوششهای مقاوم در برابر رطوبت هستند. این کار باعث میشود منبع گرما درست در جایی قرار بگیرد که نیاز است… یعنی نزدیک به ویفر.
یک نکته مهم: از آنجایی که این لامپها انرژی را خیلی سریع تولید میکنند، باید مراقب کنترلرهای PID باشید. اگر تنظیمات صحیحی نداشته باشید، ممکن است دمای ویفر بیش از حد بالا رود و باعث خرابی آن شود. این تکنولوژی بسیار قدرتمند است؛ بنابراین دقت در تنظیمات بسیار مهم است.
چگونه این تغییر را انجام دهیم؟
برای اکثر فرهای قدیمی، تغییر از روش گرمایش تبادل حرارتی به روش گرمایش با امواج مادون قرمز کار بسیار سادهای است. شما سرعت گرم شدن ویفر را افزایش میدهید و فضای مورد نیاز نیز کاهش مییابد.
یک نکته قبل از شروع: حتماً منبع تغذیه خود را بررسی کنید. لامپهای مادون قرمز مصرف انرژی بسیار زیادی دارند؛ بنابراین باید مطمئن شوید که سیستم برقی شما میتواند این میزان انرژی را تحمل کند. در غیر این صورت، به محض فعال کردن لامپ، کلیدهای برق خاموش خواهند شد.