Maîtriser réellement la chaleur dans votre usine de fabrication de puces
Si vous souhaitez passer à une usine de fabrication intelligente, la première chose à éliminer, c’est le prélèvement manuel des données. C’est lent, fastidieux, et, franchement, obsolète. Il vous faut un flux de données en temps réel, et non des informations datant de dix minutes auparavant.
C’est là que les capteurs infrarouges entrent en jeu. Ils permettent de détecter les variations de température sans avoir besoin de toucher la puce. Pas de contact, donc pas de contamination ni de stress mécanique. C’est beaucoup plus propre.
Comment fonctionnent vraiment ces capteurs ?
Dans une usine de fabrication de puces, si la température n’est pas uniforme, vous avez des problèmes. Nous utilisons des capteurs infrarouges haute résolution pour surveiller la manière dont la chaleur se répartit sur la surface de la puce, en temps réel. Les capteurs captent les rayonnements infrarouges et les transforment en cartes numériques. Comme ils se connectent directement au système PLC ou SCADA, vous obtenez des données en temps réel. Immédiatement. En temps réel.
Comment mettre cela en pratique ?
Lorsque ces capteurs sont connectés à un système numérique, les suppositions disparaissent. Nous concevons ces systèmes pour qu’ils puissent fonctionner dans des conditions extrêmes, comme celles des fours de CVD ou de recuit – à haute pression et à des températures extrêmement élevées.
Le meilleur avantage ? Vous pouvez ajuster les éléments de chauffage en temps réel. Si une zone devient trop chaude, le système réduit automatiquement sa température. Simple. C’est ainsi que l’on peut éviter de gaspiller des puces et réduire le taux de déchets.
Les limites (car il y en a toujours…)
Ce ne sont pas des outils qui fonctionnent de façon automatique. La précision des capteurs infrarouges dépend de l’émissivité du matériau. Si vous changez de matériau, par exemple du silicium au nitride de gallium, vous devez recalibrer les capteurs. Sinon, les données seront fausses. Point final.
De plus, il faut veiller sur la fenêtre du capteur. Les sous-produits du processus peuvent s’accumuler sur la lentille, ce qui bloque le signal et fait apparaître des températures inférieures à la réalité. Assurez-vous bien de maintenir correctement les capteurs. Sinon, les données deviendront erronées, et vous retomberez dans l’incertitude.