מנורה לחימום שבב SiC

על רצפת המפעל, פורשי SiC לא מאפשרים גמישות בטמפרטורה. סטייה של 2°C במהלך אפיית הפוטורזיסט מספיקה כדי לחרוג מהתאמה, ופרופיל מנורה לא מדויק יהרוס מחזור...