वेफरों को सुखाने की प्रक्रिया में ऊष्मा-लीकेज को रोकना
जब हम किसी फैब में वेफरों को सुखाते हैं, तो यह एक संतुलन बनाए रखने जैसा होता है। वेफरों की सतह से नमी को जल्दी से हटाना आवश्यक है, लेकिन अगर अत्यधिक ऊष्मा का उपयोग किया जाए, तो वेफरों को नुकसान पहुँच सकता है।
इसके लिए हम आमतौर पर इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं। लेकिन समस्या यह है कि सामान्य क्वार्ट्ज लैंपों से निकलने वाली ऊष्मा बेकार ही व्यर्थ हो जाती है… वह ऊष्मा मशीन की दीवारों पर ही पड़ती है, वेफरों पर नहीं। यह तो ऐसा ही है, जैसे कि खुली खिड़की के जरिए कमरे को गर्म करने की कोशिश करना।
सोने से ढके रिफ्लेक्टरों का उपयोग
हम रिफ्लेक्टरों पर उच्च-शुद्धता वाले सोने का उपयोग करते हैं… क्योंकि सोना, एल्यूमिनियम या पॉलिश्ड स्टील की तुलना में इन्फ्रारेड किरणों को परावर्तित करने में बेहतर है। सोना उन लंबी/छोटी तरंगदैर्घ्य वाली किरणों को पकड़कर उन्हें वापस लक्ष्य तक भेज देता है।
इस तरह, सारी ऊर्जा वेफरों तक ही पहुँचती है… और वेफरों के किनारे भी ठीक उतनी ही तेज़ी से सूखते हैं, जितनी तेज़ी से उनका केंद्र सूखता है… कोई “ठंडा क्षेत्र” नहीं, कोई अनुमान नहीं।
बिजली-खर्च की बचत
जब हम ऊर्जा-उपयोग का विश्लेषण करते हैं, तो वास्तव में महत्वपूर्ण तो “प्रभावी ऊर्जा” ही है। एक लैंप 2 किलोवाट ऊर्जा खींच सकता है… लेकिन अगर उसमें उच्च-गुणवत्ता वाला रिफ्लेक्टर न हो, तो उसमें से केवल 40% ही ऊर्जा ही वेफरों को सुखाने में उपयोग में आती है।
सोने की परत लगाने से ऊर्जा-खपत कम हो जाती है… हर वेफर के लिए कम किलोवाट-घंटे ही आवश्यक होते हैं… इससे सुखाने की प्रक्रिया अधिक कुशल हो जाती है।