उचित दूरी सुनिश्चित करना: आईआर वेफर हीटिंग
सेमीकंडक्टर निर्माण में, हम ऐसी शॉर्टवेव आईआर लैंपों का उपयोग करते हैं, जिससे वांछित तापमान प्राप्त किया जा सके। यह ऊर्जा बचाने का एक बेहतरीन तरीका है, खासकर जब हम अधिक पर्यावरण-अनुकूल कारखाने चलाना चाहते हैं। लेकिन वास्तविक रहस्य तो लैंपों में ही नहीं, बल्कि लैंप एवं वेफर के बीच की दूरी में है। मैं इसे “सुरक्षा दूरी” कहता हूँ… और यही वह दूरी है जिसके आधार पर ही हम सफल होते हैं या असफल। दूरी का भौतिकीय प्रभाव सोचिए, क्वार्ट्ज आवरण एवं वेफर की सतह के बीच की दूरी ही यह तय करती है कि गर्मी कैसे पहुँचती है। यदि लैंपों को बहुत नजदीक रखा जाए, तो समस्याएँ होंगी… वेफर खराब हो जाएगा। लेकिन यदि लैंपों को बहुत दूर रखा जाए, तो केवल चेंबर की दीवारें ही गर्म होंगी… यह तो ऊर्जा का अपव्यय है। हम इस दूरी को सही ढंग से समायोजित करने में बहुत समय खर्च करते हैं, ताकि विकिरण सीधे वेफर तक पहुँच सके। कार्बन उत्सर्जन को कम करना यदि आप कारखाने में उत्सर्जन को कम करना चाहते हैं, तो आपको अनावश्यक ऊर्जा का उपयोग रोकना होगा। यहीं पर शॉर्टवेव आईआर लैंप उपयोगी होते हैं… ये तुरंत ही प्रतिक्रिया देते हैं। पुराने रेजिस्टिव हीटरों के विपरीत, जिन्हें गर्म रहने ही पड़ता है, ये लैंप वेफर के तापमान सही होते ही ऊर्जा का उपयोग बंद कर देते हैं। जब इंजीनियर लैंपों की व्यवस्था को सही ढंग से समायोजित करते हैं, तो हमें सबसे अच्छे परिणाम मिलते हैं… ऐसे में ऊर्जा की खपत कम हो जाती है। संतुलन बनाए रखना अब आप सोचेंगे, “फिर ऊर्जा को तेज़ करने हेतु उच्च-वाटेज वाले लैंपों का ही उपयोग क्यों न किया जाए?” यह तो आसान लगता है… लेकिन इसमें एक समस्या है। जब इतनी ऊर्जा एक ही स्थान पर आती है, तो कूलिंग सिस्टम को अतिरिक्त काम करना पड़ता है… यदि यह सिस्टम ऐसा न कर पाए, तो लैंप खराब हो जाएंगे। आप बस वाटेज बढ़ाकर ही समस्या को हल नहीं कर सकते… आपको दूरी एवं हवा के प्रवाह के बीच संतुलन बनाना होगा। यदि हवा गर्मी को दूर नहीं ले जा पाती, तो लैंप जल्दी ही खराब हो जाएंगे। इसलिए, दक्षता बनाए रखने हेतु दूरी को सही रखें… लेकिन हवा के प्रवाह हेतु थोड़ी जगह भी जरूर छोड़ें।