लिथोग्राफी प्रक्रिया में, यदि PEB हीटर का तापमान 0.2°C भी बदल जाए, तो इससे सीडी की सतह पर खराबी आ सकती है, एवं उत्पादन में कमी आ सकती है। हमने ऐसा हीटर बनाया है, ताकि ऐसी अनिश्चितताओं को दूर किया जा सके, और फोटोरेसिस्ट की क्रियाओं में कोई बदलाव न हो।
प्रक्रिया के दौरान महत्वपूर्ण बातें
हम वेफर की सतह पर ±0.1°C की तापीय एकरूपता हासिल करना चाहते हैं; इससे “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाएँ बार-बार सफलतापूर्वक की जा सकती हैं। शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों के कारण तापमान तेजी से एवं सटीक रूप से नियंत्रित होता है, जिससे ऊर्जा की खपत कम होती है, एवं प्रक्रिया का समय भी नियंत्रित रहता है। हॉट ज़ोन को ऐसे ही डिज़ाइन किया गया है कि इससे कोई कण न उत्पन्न हों; इसलिए यह क्लीनरूम क्लास 1–100 में भी आसानी से उपयोग में आ सकता है, बिना किसी संदूषण के। ऊर्जा, वोल्टेज एवं अन्य विशेषताएँ मानक उपकरणों के अनुरूप हैं; इसका इंटरफ़ेस भी ऐसा है कि इसे आसानी से अन्य उपकरणों में एकीकृत किया जा सकता है।
उत्पादन में इसका महत्व
उच्च मात्रा में उत्पादन होने वाले कारखानों में, PEB हीटर की तापमान स्थिरता ही महत्वपूर्ण है। ±0.1°C की एकरूपता से उत्पादन प्रक्रिया में कोई व्यवधान नहीं आता, एवं अपशिष्ट भी कम हो जाता है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि सिस्टम जल्दी ही निर्धारित तापमान तक पहुँच जाता है, एवं उसे स्थिर रखता है। यह डिज़ाइन 24/7 कार्य हेतु उपयुक्त है; इसकी रखरखाव अवधि भी लंबी है। दूसरे शब्दों में, इससे उत्पादन निरंतर जारी रहता है, बिना किसी व्यवधान के।
इसे लगाने से पहले जाँचने योग्य बातें
यह हीटर अंतरराष्ट्रीय सेमीकंडक्टर उपकरण मानकों के अनुरूप ही डिज़ाइन किया गया है; लेकिन अंतिम संगतता तो आपके उपकरणों के इंटरफ़ेस पर ही निर्भर है। इंस्टॉलेशन से पहले माउंटिंग, कनेक्टरों के प्रकार, एवं चेम्बर-विशिष्ट सुरक्षा व्यवस्थाओं की जाँच आवश्यक है। इंस्टॉलेशन के बाद तापमान संबंधी जाँच भी आवश्यक है, ताकि नए हीटर का सही कार्य-प्रदर्शन सुनिश्चित किया जा सके।