अपने फैब में तापमान को ठीक से नियंत्रित करना
यदि आप एक “स्मार्ट फैब” की ओर बढ़ रहे हैं, तो सबसे पहले मैनुअल सैंपलिंग की प्रक्रिया को ही खत्म करना होगा। यह प्रक्रिया धीमी है, कठिन है, और वास्तव में यह पुरानी तकनीक है। आपको तो वास्तविक समय में डेटा चाहिए, न कि दस मिनट पहले का डेटा।
यहीं पर IR सेंसरों की भूमिका आती है। ये सेंसर, वेफर को छूए बिना ही उसके ऊपर लगे तापमान को मापने में मदद करते हैं। कोई संपर्क न होने का मतलब है कि कोई संदूषण नहीं होगा, और यांत्रिक दबाव भी नहीं पड़ेगा। ऐसे में सब कुछ अधिक साफ-सुथरा रहता है।
डेटा कैसे काम करता है?
वेफर फैब में, यदि तापमान समान न हो, तो समस्या हो जाती है। हम उच्च-रिज़ॉल्यूशन वाले IR सेंसरों का उपयोग करके देखते हैं कि तापमान सतह पर कैसे फैल रहा है।
ये सेंसर इन्फ्रारेड विकिरण को पकड़कर उसे डिजिटल मानों में बदल देते हैं। चूँकि ये सेंसर सीधे PLC या SCADA सिस्टम से जुड़े होते हैं, इसलिए आपको विलंबित डेटा नहीं मिलता। आपको तो वास्तविक समय में ही डेटा मिलता है।
वास्तविक दुनिया में इसका उपयोग कैसे किया जाता है?
जब इन सेंसरों को डिजिटल लाइनों से जोड़ा जाता है, तो अनुमान लगाने की आवश्यकता ही नहीं रह जाती। हम ऐसी प्रणालियों को ऐसी परिस्थितियों में भी काम करने के लिए डिज़ाइन करते हैं – जहाँ उच्च वैक्यूम एवं अत्यधिक तापमान होता है।
सबसे अच्छी बात यह है कि आप तुरंत ही अपने हीटिंग तत्वों को समायोजित कर सकते हैं। यदि किसी क्षेत्र में तापमान बहुत अधिक हो जाता है, तो सिस्टम उसे तुरंत ही कम कर देता है। यही तरीका है जिससे वेफरों की बर्बादी रुकती है, एवं अपशिष्ट सामग्री की मात्रा भी कम हो जाती है।
समस्याएँ (क्योंकि हमेशा कोई न कोई समस्या ही होती है…)
देखिए, ये “सेट करके भूल जाने वाले” उपकरण नहीं हैं।
IR सेंसरों का कार्य उनकी “उत्सर्जन क्षमता” पर निर्भर है। यदि आप अपनी सामग्री को सिलिकॉन से गैलियम नाइट्राइड में बदल देते हैं, तो आपको फिर से सेंसरों को कैलिब्रेट करना होगा। अन्यथा, आपके आंकड़े गलत हो जाएंगे।
इसके अलावा, सेंसरों की देखभाल भी आवश्यक है। प्रक्रिया के दौरान उत्पन्न होने वाले अपशिष्ट पदार्थ सेंसरों पर जम सकते हैं, जिससे संकेत बाधित हो जाते हैं, एवं तापमान के आंकड़े वास्तविक से कम दिखाई देते हैं। अपनी देखभाल अवश्य करें। यदि आप ऐसा नहीं करेंगे, तो आपके आंकड़े गलत हो जाएंगे, एवं आपको फिर से अनुमान लगाने ही पड़ेंगे।