क्लास 100 क्लीनरूम को हमेशा साफ रखना
जब आप क्लास 100 क्लीनरूम या वैक्यूम चैंबर में काम करते हैं, तो “गैसों का निकलना” आपका सबसे बड़ा दुश्मन है।
ऐसे वातावरण में सामान्य हीटिंग तत्व बहुत ही खतरनाक होते हैं। जब ये गर्म होते हैं, तो वे वोलेटाइल ऑर्गेनिक यौगिकों (VOCs) को छोड़ने लगते हैं, या छोटे-छोटे कणों को उत्सर्जित करते हैं। यदि आप वेफर्स या उच्च-शुद्धता वाली ऑप्टिकल कोटिंगों के साथ काम कर रहे हैं, तो यह बहुत ही खतरनाक है… एक ही सूक्ष्म कण से पूरा बैच बर्बाद हो सकता है।
हम इस समस्या को हल करने हेतु उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं। ये विशेष रूप से वैक्यूम वातावरण हेतु ही बनाए गए हैं; इसलिए आपको संदूषण के बारे में चिंता करने की आवश्यकता नहीं है।
हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का ही उपयोग क्यों करते हैं?
हम लगभग शुद्ध सिलिका का ही उपयोग करते हैं… इसका उद्देश्य कणों के निकलने को रोकना है।
आम काँच के विपरीत, यह सामग्री गर्म होने पर भी नष्ट नहीं होती, और गैसें भी नहीं निकलतीं। इसके अलावा, ये लैंप शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड विकिरण का उपयोग करते हैं… इससे ऊर्जा सीधे कार्य-वस्तु में जाती है… वैक्यूम वातावरण के बाकी हिस्सों को गर्म करने में समय बर्बाद नहीं होता… इससे गर्मी का स्तर नियंत्रित रहता है।
सबसे कठिन हिस्सा: वैक्यूम सीलिंग
लैंप एवं वैक्यूम फ्लैंज के बीच की सीलिंग ही सबसे महत्वपूर्ण हिस्सा है… यहीं से समस्याएँ शुरू होती हैं।
इसीलिए हम सामान्य कनेक्टरों का उपयोग नहीं करते… हम विशेष इलेक्ट्रोडों एवं सीलिंगों का ही उपयोग करते हैं… ऐसी सामग्रियाँ बार-बार गर्म/ठंडा होने के बाद भी टूटती नहीं, और कण भी नहीं निकलते।
हम वॉटेज एवं वोल्टेज को आपके चैंबर के आकार के अनुसार समायोजित कर सकते हैं… लेकिन ध्यान रखें कि अधिक वॉटेज से गर्मी अधिक हो जाती है… इसलिए आपके वैक्यूम पंपों को इस गर्मी को संभालने में सक्षम होना आवश्यक है… आप नहीं चाहेंगे कि चैंबर की दीवारें अत्यधिक गर्म हो जाएँ।
कुछ सावधानियाँ (“ऐसा मत करें”)
उच्च-शुद्धता वाला क्वार्ट्ज तो बेहतरीन है… लेकिन यह बहुत ही कमजोर है।
यह अत्यधिक गर्मी को सह सकता है… लेकिन इसे टक्कर देने से नुकसान हो सकता है… यदि आप लैंप को गिरा दें, या माउंटिंग क्लिपों का दुरुपयोग करें, तो इसमें दरारें पड़ सकती हैं… और वैक्यूम वातावरण में ऐसी दरारों से दबाव तुरंत कम हो जाता है।
एक अंतिम सलाह: हमेशा दस्ताने पहनें।
यह तो सरल लगता है… लेकिन त्वचा के तेल से क्वार्ट्ज पर निशान पड़ जाते हैं… ऐसे निशानों के कारण लैंप जल्दी ही खराब हो सकता है… इसलिए इसे सावधानी से ही हैंडल करें।