Menghentikan kebocoran panas saat pengeringan wafer
Saat mengeringkan wafer di pabrik semikonduktor, diperlukan keseimbangan yang tepat. Anda perlu menghilangkan kelembapan dari permukaan wafer secepat mungkin, tetapi jika suhu yang digunakan terlalu tinggi, maka wafer bisa rusak.
Kebanyakan orang menggunakan alat pemancar inframerah untuk tujuan ini. Namun, ada masalahnya: lampu kuarsa biasa sangat boros energi. Sebagian besar panas yang dihasilkan malah merambat ke arah yang tidak jelas, sehingga justru memanaskan dinding mesin daripada permukaan wafer itu sendiri. Ini sama saja dengan mencoba menghangatkan ruangan dengan jendela yang terbuka.
Inilah solusinya: reflektor berlapis emas.
Kami menggunakan emas berkualitas tinggi pada bagian reflektor, karena emas lebih efektif dalam memantulkan cahaya inframerah dibandingkan aluminium atau baja yang telah dipolish. Emas mampu menangkap sinar inframerah berfrekuensi pendek dan panjang, lalu memantulkannya kembali ke target yang diinginkan.
Dengan demikian, energi yang dihasilkan tidak tersebar ke seluruh bagian mesin, melainkan terfokus pada titik yang dituju. Hal ini membuat aliran panas menjadi lebih terkendali. Yang terbaik adalah, Anda dapat mencapai suhu yang diinginkan dengan menggunakan energi yang lebih sedikit.
Namun, Anda tidak boleh sekadar meningkatkan intensitas panas secara sembarangan. Jika intensitas panas terlalu tinggi, maka wafer akan overheated. Oleh karena itu, kecepatan pengeringan wafer juga perlu disesuaikan agar tetap stabil. Jika konveyor berhenti sejenak saja, maka wafer berisiko overheated.
Kami juga menghabiskan banyak waktu untuk menyesuaikan kelengkungan reflektor tersebut. Kami ingin menghilangkan “zon-zon mati” di mana panas tidak sampai ke sana. Jika kelengkungannya tepat, maka energi akan tersebar merata, sehingga semua bagian wafer akan kering dengan cepat. Tidak ada lagi area yang dingin, dan tidak perlu menebak-nebak lagi.
Lalu, ada juga soal biaya listrik. Saat menilai penggunaan energi, satu-satunya angka yang penting adalah “energi efektif”. Sebuah lampu mungkin mengkonsumsi 2kW energi, tetapi jika reflektornya tidak efektif, mungkin hanya 40% dari energi tersebut yang benar-benar digunakan untuk mengeringkan wafer.
Dengan menggunakan lapisan emas, efisiensi penggunaan energi meningkat drastis. Anda membutuhkan lebih sedikit kilowatt-jam untuk mengeringkan satu wafer, sehingga penggunaan energi secara keseluruhan menjadi lebih efisien. Ini merupakan cara sederhana untuk membuat proses pengeringan menjadi lebih efektif.