Mengendalikan Suhu dengan Tepat di Pabrik Fabrikasi Wafer
Jika Anda ingin menciptakan pabrik fabrikasi wafer yang lebih canggih, hal pertama yang perlu dihilangkan adalah proses pengambilan sampel secara manual. Proses ini lambat, merepotkan, dan sebenarnya sudah ketinggalan zaman. Yang diperlukan adalah data yang diperoleh secara real-time, bukan data yang berasal dari 10 menit yang lalu.
Di sinilah sensor IR berperan. Sensor ini memungkinkan kita untuk mencari tahu pola penyebaran panas di permukaan wafer, tanpa perlu menyentuhnya sama sekali. Tanpa adanya kontak fisik, maka tidak akan ada risiko kontaminasi atau tekanan mekanis. Cara ini jauh lebih efektif.
Bagaimana Data Itu Bekerja
Di pabrik fabrikasi wafer, jika suhu tidak merata, maka akan timbul masalah. Kami menggunakan sensor IR berresolusi tinggi untuk melihat bagaimana panas menyebar di permukaan wafer saat proses berlangsung. Sensor tersebut mengumpulkan radiasi inframerah dan mengubahnya menjadi peta digital. Karena sensor ini terhubung langsung ke sistem PLC atau SCADA, Anda akan mendapatkan data yang aktual, tanpa harus menunggu waktu tertentu.
Menerapkannya dalam Dunia Nyata
Ketika sensor ini terhubung ke sistem digital, maka proses estimasi menjadi tidak diperlukan lagi. Sistem ini dirancang untuk bertahan dalam kondisi ekstrem, seperti suhu yang sangat tinggi atau kondisi vakum yang ekstrem. Yang terbaik adalah Anda dapat menyesuaikan elemen pemanas secara cepat. Jika suhu di suatu zona terlalu tinggi, sistem akan otomatis mengurangi kuatnya pemanasan. Sangat sederhana. Dengan cara ini, Anda dapat menghindari pemborosan wafer dan menurunkan tingkat limbah yang dihasilkan.
Kelemahannya (Karena selalu ada kelemahan)
Perlu diingat bahwa sensor IR bukanlah alat yang bisa digunakan begitu saja tanpa perlu pemeliharaan. Kinerja sensor ini bergantung pada tingkat emisivitas bahan yang digunakan. Jika bahan yang digunakan berubah dari silikon menjadi galium nitrida, maka sensor perlu dikalibrasi ulang. Jika tidak, data yang diperoleh akan salah. Selain itu, perlu juga memperhatikan kondisi lensa sensor. Produk sampingan proses produksi sering menumpuk di lensa, sehingga menghambat sinyal dan membuat suhu tampak lebih rendah daripada kenyataannya. Pastikan Anda memelihara sensor dengan baik. Jika tidak, data yang diperoleh akan salah, dan Anda harus mulai menebak lagi.