Berhentilah menunggu proses pencucian tersebut selesai: IR dibandingkan dengan udara panas
Jika Anda pernah berada di pabrik semikonduktor, Anda pasti tahu bahwa tahap pencucian merupakan tahap yang membutuhkan waktu lama. Ini merupakan “titik penyumbat” dalam proses produksi.
Banyak orang masih menggunakan metode pemanasan dengan udara panas. Masalahnya adalah metode ini masih merupakan cara konvektif biasa. Anda perlu memanaskan udara terlebih dahulu, lalu menunggu sampai ruangan menjadi hangat, baru kemudian memanaskan wafer tersebut. Prosesnya sangat lambat. Sepertinya Anda hanya membuang-buang waktu saja.
Inilah kelebihan penggunaan lampu inframerah (IR).
Pemanasan dengan IR benar-benar mengubah pola waktu prosesnya. Alih-alih memanaskan seluruh ruangan, lampu IR memancarkan radiasi elektromagnetik langsung ke permukaan wafer. Dengan demikian, tidak perlu ada tahap pemanasan tambahan.
Tidak ada lagi waktu tunggu untuk proses pemanasan. Dengan demikian, wafer dapat diproses lebih cepat, tanpa perlu menggunakan ruang yang lebih besar. Ini merupakan keuntungan besar bagi proses produksi Anda.
Tapi, Anda tidak bisa begitu saja menggunakan lampu biasa di area basah.
Air dan komponen elektronik tidak boleh bercampur. Kelembapan atau tetesan air yang masuk ke dalam sistem dapat merusak komponen elektronik atau merusak permukaan kuarsa. Itulah mengapa kita menggunakan lampu yang memiliki sertifikat tahan air dan lapisan pelindung anti-ketebalan. Hal ini memungkinkan sumber panas berada tepat di tempat yang diperlukan—dekat dengan objek yang akan dipanaskan.
Perlu diingat: karena lampu IR menghasilkan energi yang sangat tinggi, Anda perlu berhati-hati saat menggunakan kontroler PID. Jika pengaturannya tidak tepat, suhu bisa melebihi batas yang ditentukan, sehingga substrat bisa rusak. Ini merupakan teknologi yang sangat kuat, jadi presisi sangat penting.
Mengganti metode pemanasan
Untuk oven konvektif lama, menggantinya dengan lampu IR yang tahan air merupakan hal yang cukup mudah. Anda akan mendapatkan proses pemanasan yang lebih cepat, serta penggunaan ruang yang lebih efisien.
Sebelum memulai, pastikan pasokan dayanya cukup. Lampu IR membutuhkan daya yang tinggi, berbeda dengan elemen pemanas biasa. Pastikan kabel listrik Anda mampu menahan arus listrik yang tinggi tersebut,否则 stopkontak akan mati begitu Anda menyalakan lampu.