Pemanas pembakaran tipe E beam
Di lini litografi, proses pemanasan bahan resist menggunakan E-beam bukan sekadar langkah biasa saja—melainkan merupakan faktor penting dalam...
Lampu pemanggang fotoresist
Di lantai pabrik, Anda mengukur margin untuk kesalahan dalam pemrosesan photoresist dalam nanometer. Beberapa derajat penyimpangan selama soft bake...