Riscaldatore per cottura a fascio elettronico
Nella fase di litografia, la cottura del resistente all’E-beam non è semplicemente un passaggio aggiuntivo nel processo produttivo: rappresenta...
Lampada per la cottura del fotoresist.
Sul piano di produzione, la tolleranza d’errore nel processo di fotoresist è misurata in nanometri. Anche pochi gradi di scostamento durante il soft...