適切な距離の設定：IRウェーハ加熱 半導体製造においては、正確な温度制御を実現するために短波長のIRランプが使用されます。これはエネルギー節約にも役立ち、特に環境に優しい工場を運営したい場合には有効です。しかし、効率化の鍵は単にランプ自体にあるわけではありません。重要なのは、ランプとウェーハの間の...

炭素排出量を削減し、精度を高める：ウエハーツールにおける赤外線加熱の真実 現在、半導体製造業界では「グリーンファクトリー」という概念が広く議論されています。目標は明確です。つまり、炭素排出量を大幅に削減したいのですが、生産効率を犠牲にすることは誰も望んでいません。ウエハーツールにおいてこれを実現す...