半導体式オーブンの発熱体

ファブ内では、すぐに学べます。0.3℃というわずかな温度変動でも、露光条件が変わってしまいます。また、端の部分が過度に加熱されると、再びコータートラックで品質を確保する必要があります。ウェーハは、温度の不均一性を許しません。 技術的に重要な点 私たちが開発したNIRオーブンの加熱要素は、石英製のハ...