半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

クリーンルーム内のキャリアを安全に守り、ウェーハを壊れないようにするために クリーンルームでは、わずかな電気的なアークや漏れ電流でさえも大惨事につながります。一瞬にして大量のウェーハが破損してしまう可能性があります。そのため、私たちはヒーターを設計する際に、周囲の電気系統に影響を与えずに、安定した...