クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために 正直に言って、クラス100のクリーンルームで加熱処理を行うのは大変な作業です。わずかな酸化物の破片やガスの放出だけで、作業した製品全体が無価値になってしまいます。半導体工場や医療機器の組み立てラインでは、1マイクロメートルほどのほこりでも...

私たちは、お客様の電力を無駄にするようなことはしません。 当社から出荷されるすべてのランプ管は、必ず完全な電圧耐性試験や絶縁抵抗試験を受けます。例外はありません。 その理由は、高品質な製造環境では、わずかな絶縁不良でも大きな問題を引き起こすからです。単にランプが壊れるだけでなく、生産ライン全体が停...

「ガラスの雪嵐」を止める：ウェーハ処理におけるランプの破損対策 大量生産型の半導体製造工場において、赤外線ランプが破損すると、それは単なる「技術的な障害」に過ぎません。それはまさに地獄のような状況です。 石英管が破損すると、ランプは動かなくなるだけでなく、ガラスの破片や化学物質がウェーハに飛び散り...

ウェーハを乾燥させる際には、適切なバランスが求められます。表面の水分を素早く取り除く必要がありますが、熱を強く当てすぎると、ウェーハにストレスがかかってしまいます。 私たちの多くは、この目的のために赤外線放射器を使用しています。しかし問題は、一般的な石英ランプは効率が悪いということです。発生した熱...

ファブ内での炭素排出量を削減するために：IR加熱への移行 正直言って、半導体製造ファブは非常に多くのエネルギーを消費しています。クリーンルーム内にある古い装置のほとんどは、依然として抵抗加熱や、無駄なエネルギーを空気中に放出するような加熱方式を使っています。これは明らかに無駄です。だからこそ、多く...

問題点：熱源を常に清潔に保つこと 想像してみてください。あなたがクラス100のクリーンルームにいるとします。そこでは、ほんのわずかなほこりでもすべてを台無しにしてしまいます。その部屋内のあらゆる部品について、粒子が発生しないか何度もチェックする必要があります。 通常の加熱要素ではこれには対応できま...