フォトレジスト焼成ランプ

ファブフロアでは、フォトレジスト処理の許容誤差をナノメートル単位で測定します。ソフトベイクやハードベイク時に数度のずれがあるだけで、重要寸法が変わり歩留まりに影響を及ぼします。私たちは、その不確実性を排除するために赤外線フォトレジストベーキングランプを設計しました。 技術的に重要な点 短波長赤外線...