真空対応の赤外線ヒーター

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために クラス100のクリーンルームや真空チャンバーで作業を行うとき、最も厄介なのが「ガスの漏れ」です。 一般的な加熱要素は、このような環境では大変問題となります。加熱されると、揮発性有機化合物（VOC）が漏れ出したり、微細な粒子が飛散したりします...