省エネ型ウェーハヒーター

装置を加熱するのをやめて、ウェーハを直接加熱しましょう。 半導体製造に使われる装置の中には、まるで空気暖房のように感じられるものもありますよね？ 一般的な抵抗加熱器は効率が悪く、熱があちこちに漏れ出してしまい、チャンバ全体が温まってしまいます。問題は、実際には部屋全体を温める必要はなく、ウェーハだ...