Eビーム抵抗焼成ヒーター

リソグラフィープロセスにおいて、Eビームレジストの加熱処理は単なる工程の一つではありません。それは、線幅制御を決定する重要な要素なのです。ソフトベイク時の温度変動が5℃あるだけで、キャリブレーション精度が急速に低下してしまいます。プロセスにおいては推測は許されず、実際の生産現場ではまったく容認され...