量子ドット製造用ヒーター

300 mmウェハをリソグラフィセルにロールインする。フォトレジストをスピンコートし、時計が動き始める。ソルベントを抜きつつレジストの流動を抑えるソフトベイクが必要だ。スリップや応力を誘発せずにレジストを架橋させるハードベイクも必要だ。そして、その両方を安定して実現しなければ、ロットごとの品質確認...