半導体ヒーター用熱電対

ファブの現場では、ベーク温度が0.5℃変動するだけで、ウェーハの寸法に影響が出し、多くのウェーハが廃棄処分となってしまいます。半導体の製造においては、わずかな温度変動も許されません。フォトレジストのソフトベークやハードベークにおいては、再現性のある温度設定が不可欠です。つまり、すべてのスロットで、...