工場の乾燥設備に対するエネルギー診断

ウェーハを乾燥させる際には、適切なバランスが求められます。表面の水分を素早く取り除く必要がありますが、熱を強く当てすぎると、ウェーハにストレスがかかってしまいます。 私たちの多くは、この目的のために赤外線放射器を使用しています。しかし問題は、一般的な石英ランプは効率が悪いということです。発生した熱...