なぜ半導体の処理において熱風を使わず、真空赤外線加熱器を採用するのか 半導体の精密な処理を高速化したいと思っているなら、チャンバーが温まるのを待つのは時間の無駄だと気づいているはずです。 長い間、私たちは強制送風に頼ってきました。しかし問題は、ウェハーが実際に熱を感じる前に、部屋全体、つまりガスや...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために クラス100のクリーンルームや真空チャンバーで作業を行うとき、最も厄介なのが「ガスの漏れ」です。 一般的な加熱要素は、このような環境では大変問題となります。加熱されると、揮発性有機化合物（VOC）が漏れ出したり、微細な粒子が飛散したりします...