ウェーハ用高精度IRセンサー

ファブ内の熱を正確に把握する方法 スマートファブを実現するためには、まず手動でのサンプリングをやめる必要があります。それは時間がかかり、面倒であり、正直、時代遅れです。10分前のデータではなく、リアルタイムのデータが必要です。 そこで役立つのがIRセンサーです。これにより、ウェーハに触れることなく...