ウェーハ製造ラインの装置

製造現場において、温度というのは単なる設定値ではなく、重要な制約条件です。フォトレジストのソフトベイク処理時にわずか半度でも温度が変動すると、重要な寸法がずれてしまい、大量の廃棄品が出てしまいます。そのため、私たちは、実際のリソグラフィーやフォトレジスト処理で求められる熱制御の要件に合わせて、赤外...