ファブ内での炭素排出量を削減するために：IR加熱への移行 正直言って、半導体製造ファブは非常に多くのエネルギーを消費しています。クリーンルーム内にある古い装置のほとんどは、依然として抵抗加熱や、無駄なエネルギーを空気中に放出するような加熱方式を使っています。これは明らかに無駄です。だからこそ、多く...

製造現場において、温度というのは単なる設定値ではなく、重要な制約条件です。フォトレジストのソフトベイク処理時にわずか半度でも温度が変動すると、重要な寸法がずれてしまい、大量の廃棄品が出てしまいます。そのため、私たちは、実際のリソグラフィーやフォトレジスト処理で求められる熱制御の要件に合わせて、赤外...