真空チャンバー用赤外線ヒーター

なぜ半導体の処理において熱風を使わず、真空赤外線加熱器を採用するのか 半導体の精密な処理を高速化したいと思っているなら、チャンバーが温まるのを待つのは時間の無駄だと気づいているはずです。 長い間、私たちは強制送風に頼ってきました。しかし問題は、ウェハーが実際に熱を感じる前に、部屋全体、つまりガスや...