カーボンニュートラルウェーハ加熱におけるIRランプの安全距離の最適化

適切な距離の設定：IRウェーハ加熱 半導体製造においては、正確な温度制御を実現するために短波長のIRランプが使用されます。これはエネルギー節約にも役立ち、特に環境に優しい工場を運営したい場合には有効です。しかし、効率化の鍵は単にランプ自体にあるわけではありません。重要なのは、ランプとウェーハの間の...