OEM半導体ヒーター素子

ファブの現場では、フォトレジスト処理中の温度変動は「いつか起こるかもしれない」という問題ではありません。これは、製品の品質を静かに悪化させる要因です。ソフトベイク時の温度が0.5°C変動するだけで、重要な寸法の制御が崩れてしまいます。また、ハードベイクの際に温度が均一でなければ、エッチング後に不良...