露光後ベイク PEB ヒーター

リソグラフィー工程において、0.2℃というわずかな温度変動でも、PEBヒーターによってCDの縁が損傷し、結果として歩留まりが低下してしまいます。そこで、この露光後のベイク用ヒーターを開発しました。これにより、そのような温度変動を排除し、フォトレジストの特性が設計通りに働くようになります。 重要なの...