SiCウェーハ加工用ヒータランプ

ファブフロアでは、SiCウェーハの温度管理に余裕はない。フォトレジストのベイク中に2℃の変動があるだけでオーバーレイがずれ、ランプのプロファイルが不適切だとロット全体が不良になる。私たちはこの現実に対応するため、SiCウェーハ処理用のヒータランプを設計した。 技術的に重要な点 石英封入の短波赤外線...