이제 더 이상 세척 과정을 기다릴 필요는 없습니다: 적외선 vs. 열풍
반도체 공장에서 일해본 사람이라면, 세척 단계가 일을 늦추는 주된 원인이라는 것을 잘 알고 있을 것입니다. 이것이 바로 전형적인 병목 현상입니다.
많은 사람들이 여전히 열풍을 사용하고 있습니다. 문제는 이 방식이 단순한 대류 현상에 불과하다는 점입니다. 공기를 가열한 다음, 챔버가 따뜻해질 때까지 기다렸다가 비로소 웨이퍼를 가열합니다. 이는 매우 느린 과정입니다. 마치 시간만 낭비하는 것 같습니다.
적외선의 경우는 다릅니다.
적외선을 이용하면 과정의 속도가 훨씬 빨라집니다. 공간을 따뜻하게 하는 대신, 적외선 램프는 전자파를 직접 웨이퍼 표면에 조사합니다. 중간 단계를 생략할 수 있기 때문입니다. “온도 상승”에 걸리는 시간도 없습니다. 세척 및 건조 과정에서 웨이퍼가 그 자리에 머무는 시간이 훨씬 줄어듭니다. 그 결과, 더 많은 제품을 처리할 수 있으며, 공간도 덜 필요합니다. 이는 작업 효율성 측면에서 큰 장점입니다.
하지만 일반 램프를 습한 환경에 그대로 사용할 수는 없습니다.
물과 전자 부품은 서로 어울리지 않습니다. 습도나 물방울만으로도 전자 부품이 손상되거나 석영이 깨질 수 있습니다. 그래서 우리는 특수한 방수 코팅이 적용된 램프를 사용합니다. 이를 통해 열원을 정확한 위치에 배치할 수 있습니다.
참고로, 이러한 램프는 에너지를 매우 빠르게 방출하기 때문에 PID 컨트롤러를 신중하게 조절해야 합니다. 설정을 제대로 하지 않으면 온도가 과도하게 상승하여 기판에 손상을 줄 수 있습니다. 따라서 정확도가 매우 중요합니다.
전환 방법
대부분의 기존 대류식 오븐의 경우, 방수 처리된 적외선 램프로 교체하는 것은 비교적 간단합니다. 빠른 온도 상승과 더 작은 공간만 필요합니다.
시작하기 전에 한 가지 팁: 전력 공급 장치를 확인하세요. 적외선 램프는 많은 전력을 소비하기 때문입니다. 배선이 최대 전력을 견딜 수 있는지 반드시 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 전원을 켜는 순간 차단기가 작동할 수 있습니다.