공장 건조 공정에 대한 에너지 점검

웨이퍼 건조 시 열 손실을 막는 방법 팹에서 웨이퍼를 건조할 때는 균형을 잘 맞춰야 합니다. 웨이퍼 표면의 수분을 빠르게 제거해야 하지만, 너무 강한 열을 가하면 웨이퍼에 손상이 갈 수 있습니다. 대부분의 경우, 적외선 방출기를 사용합니다. 하지만 문제는 표준적인 석...