왜 골드 코팅된 반사체가 웨이퍼에 있어서 중요한지 실리콘 웨이퍼를 가열할 때 챔버의 온도가 너무 높아진다면, 그건 결국 돈을 낭비하는 것과 같습니다. 이는 명백한 설계상의 결함입니다. 대부분의 사람들은 알루미늄 반사체를 사용하지만, 문제는 알루미늄이 너무 많은 에너지...

반도체 제조 공장에서 탄소 배출을 줄이는 더 스마트한 방법 반도체 제조 공장에서 탄소 중립을 달성하려면 열 관리가 매우 중요합니다. 보통 에너지가 가장 많이 낭비되는 부분이 바로 여기입니다. 기존의 가열 방식은 효율이 낮아, 웨이퍼 주변의 공기를 가열하는 데 엄청난...