E 빔 저항식 베이킹 히터
리소그래피 공정에서 E-빔 저항제를 가열하는 과정은 단순한 단계가 아닙니다. 이는 선폭 제어에 있어 매우 중요한 역할을 합니다. 소프트 베이킹 과정에서 온도가 5°C만 변동해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 공정에서는 추측이 허용되지 않으며, 특히 생산 환경에...
포토레지스트 베이킹 램프
팹 플로어에서 포토레지스트 처리에서 오차 마진을 나노미터 단위로 측정합니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 동안 몇 도의 차이만으로도 중요 치수가 변동하고 수율이 저하될 수 있습니다. 우리는 이러한 불확실성을 제거하기 위해 적외선 포토레지스트 베이킹 램프를 제작했습니다...