E 빔 저항식 베이킹 히터

리소그래피 공정에서 E-빔 저항제를 가열하는 과정은 단순한 단계가 아닙니다. 이는 선폭 제어에 있어 매우 중요한 역할을 합니다. 소프트 베이킹 과정에서 온도가 5°C만 변동해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 공정에서는 추측이 허용되지 않으며, 특히 생산 환경에...