반도체 히터용 서모커플

생산 현장에서는 굽기 온도가 0.5°C만 변동해도 웨이퍼의 치수에 영향을 미쳐 많은 양의 웨이퍼가 폐기되게 됩니다. 반도체 제조 과정에서는 그러한 오차를 용납할 수 없습니다. 포토레지스트를 처리할 때는 일정한 온도 조건이 필요합니다. 모든 슬롯과 교대 근무 시간에도...