반도체 오븐 가열 소자

제조 현장에서는 빠르게 배울 수 있습니다. 0.3°C만큼의 온도 변화라도 웨이퍼의 노출 조건을 바꿔버릴 수 있으며, 가장자리 부분에서 과열이 발생하면 다시 코팅 공정으로 돌아가야 합니다. 웨이퍼는 열적 불균일성을 용납하지 않습니다. 기술적으로 중요한 점들 저희는 규소...