제조 공장에서의 탄소 배출 감소: 적외선 가열 방식으로의 전환 솔직히 말해서, 반도체 제조 공장들은 엄청난 양의 에너지를 소비합니다. 클린룸에 있는 기존 장비들은 대부분 저항식 가열 방식을 사용하거나, 에너지를 낭비하는 구식 열 처리 방식을 사용합니다. 이는 명백한...

팹 내에서 온도는 단순한 설정 값이 아니라, 매우 중요한 기준입니다. 포토레지스트를 소프트 베이크하는 과정에서 온도가 반도 정도만 변해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 그래서 우리는 리소그래피 및 포토레지스트 처리 과정에서 요구되는 열 제어 기능을 바탕으로 적...