양자점 제작 히터

300 mm 웨이퍼를 리소그래피 셀로 롤인한다. 포토레지스트를 스핀 코팅하면 시간이 시작된다. 레지스트가 흐르지 않으면서 용매를 제거하는 소프트 베이크가 필요하다. 슬립이나 스트레스를 유발하지 않으면서 레지스트를 교차결합하는 하드 베이크도 필요하다. 그리고 이 두 가...