웨이퍼용 고정밀 IR 센서

웨이퍼의 온도를 정확하게 파악하기 스마트 팹을 구축하려면 가장 먼저 해야 할 일은 수동 샘플링을 없애는 것입니다. 수동 샘플링은 느리고 번거롭으며, 솔직히 말해서 구식 방법입니다. 10분 전의 데이터가 아닌, 실시간 데이터가 필요합니다. 바로 이때 IR 센서가 유용해...