에너지 효율적인 웨이퍼 히터

장비를 가열하는 대신 웨이퍼를 직접 가열해 보세요. 일부 반도체 제조 장비들이 마치 히터처럼 작동한다는 것을 알고 있나요? 대부분의 일반적인 저항식 히터들은 효율이 매우 낮습니다. 이러한 히터들은 열을 사방으로 방출하여 전체 챔버를 따뜻하게 만듭니다. 문제는, 우리는...