반도체 소자 특성 분석용 히터

팹에서는 포토레지스트를 건조하는 과정에서 2°C 정도의 온도 변동이 발생하면, 웨이퍼의 형상이 변할 뿐만 아니라, 리소그래피 작업에 필요한 시간도 낭비되고, 결국 그 웨이퍼들은 폐기되어야 합니다. 성능이 부족한 히터를 사용하면 온도 제어가 어려워지며, 재검증 과정도...